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行業新（xīn）聞

首（shǒu）發19億一（yī）台的光（guāng）刻機！Intel將派人幫（bāng）助（zhù）ASML加速生產

發布時間：2022-03-23 01:11:45瀏覽次數：51

包括AMD及NVIDIA在內的半導體公（gōng）司都預測今年下半年全球芯片產能緊張的局麵就會緩解，然而生（shēng）產（chǎn）光刻機的ASML公司對此表示質疑，該公司CEO Peter Wennink日前警告稱半導體芯片製造公司的生產計劃野心（xīn）勃勃，但可（kě）能麵臨（lín）設備（bèi）短缺。

Peter Wennink在采訪中表示，盡管各大半導體公司投資了數十億甚至數（shù）百（bǎi）億美元以提高產能，然而他們並不可能（néng）快速提高產能，因為製約產能的還有半（bàn）導體設備。

就連ASML公司自己的光刻機生產都受到了限製，不過Intel CEO基辛格此前表示他們已經派人去幫助ASML公司加速生產（chǎn）。

Intel並沒有提及他們派出多少工程師（shī）以及是（shì）怎樣幫助ASML提高光刻機產量的，但是他們很可能協（xié）助ASML加（jiā）速新一代EUV光刻機的生（shēng）產。

現在的EUV光刻機還是NA 0.33技術的，Intel的重點（diǎn）押注在了（le）下一（yī）代EUV光刻機，也就是NA 0.55的ASML新一代光刻機，據說成本高達3億美元，約合（hé）19億元。

實際上4年來Intel實際上已經下（xià）單了6台NA 0.55的（de）EUV光刻機，其中分為兩種，Twinscan Exe:5000係列主要用於工藝研發，產能輸出是185WPH，每小時生產185片晶圓，2023年上半年交付。

量產型的NA 0.55光刻機（jī）是Twinscan Exe:5200，產能（néng）提升（shēng）到200WPH，每小時200片晶圓，預計會在2024年（nián）下線，Intel的20A工藝正好是（shì）在2024年（nián）量產。

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